请选择 进入手机版 | 继续访问电脑版

71外链论坛

 找回密码
立即注册
开启左侧

电容式压力传感器的特点

[复制链接]
发表于 2021-11-2 10:48:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
电容压力传感器是以硅材料为基础,采用电容原理,即利用电容极间距变化将压力转换为电容变化,由MEMS工艺制作的传感器。硅电容压力传感器特点如下:

适合批量生产,成本低
硅电容压力传感器利用MEMS工艺制作,芯片尺寸为3mm×3mm,一个4寸硅片可制作几百个元件。产品的工艺性好,性能一致,适合批量生产,低成本运行。其制备工艺与IC工艺兼容,工艺装备无须象硅谐振传感器的工艺装备那样昂贵和复杂,也无须象金属膜片电容传感器那样单件制作,保证了硅电容传感器具有高的性能价格比。
稳定性好
硅电容压力传感器是一种结构型传感器,称重传感器就检测原理而言,其稳定性优于物性型传感器,从结构设计角度保证了该类传感器的稳定性;结构工艺采用全硬封固态工艺,硅-玻璃-金属导压管采用静电封接,减少了用胶封等引起的应力、滞迟和变差;电容对温度不灵敏,温度附加误差小,不需象硅压阻器件那样进行复杂的温度补偿。稳定性好是硅电容传感器深受用户好感的主要原因之一。
指标先进
电容传感器本身具有小功率、高阻抗、静电引力小、可动质量小、发热影响小的特点,并可进行非接触测量。硅电容传感器综合性能指标如非线性、过载、静压、可靠性等性能优于硅压阻传感器、陶瓷电容传感器、金属膜片电容传感器。它与硅谐振传感器相当,特别是用户追求的非线性指标,通常硅电容传感器的非线性优于0.05%FS的成品率大于60%。
主要问题
因其检测原理是采用电容极间距变化,而这种极间距变化本身是非线性的,为了改善非线性,开发出较为复杂的芯体结构,如接触式、变面积与变极距相串联等结构。另一个问题是要解决微弱电容信号的检测问题。
更多压力传感器相关技术文章请访问沧正传感http://www.cazsensor.com

回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

标签云|免责声明|手机版|小黑屋|71外链论坛 ( 皖ICP备2021018791号-5 )|Sitemap|网站地图

GMT+8, 2024-3-29 22:24 , Processed in 0.059929 second(s), 22 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2020, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表